5-aksaj frezitaj ceramikaj izoliloj por duonkonduktaĵa ekipaĵo kaj puraj ĉambroj

En la alt-riska mondo de semikonduktaĵa fabrikado kaj puraĉambraj medioj, ĉiu komponanto devas liveri perfektan rendimenton. ĈePFT, ni specialiĝas pri metiado5-aksaj frezitaj ceramikaj izolilojkiuj redifinas precizecon kaj fidindecon. Kun pli ol 20+Kun jaroj da sperto, niaj solvoj estas desegnitaj por plenumi la postulemajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj, certigante termikan stabilecon, elektran izoladon kaj senpoluan funkciadon en ultra-sentemaj medioj.

Kial Elekti Niajn 5-Aksajn Frezitajn Ceramikajn Izolaĵojn?

1.Altnivelaj Produktadkapabloj

Nia instalaĵo estas ekipita perpintnivelaj 5-aksaj CNC-frezmaŝinoj, ebligante mikron-nivelan precizecon en formado de progresintaj ceramikaĵoj kiel alumino-tero (Al₂O₃), siliciokarbido (SiC), kaj aluminionitrido (AlN). Male al konvenciaj metodoj, 5-aksa maŝinado permesas kompleksajn geometriojn - kritikajn por komponantoj kiel stiftoj de levilo de oblatoj, partoj de depoziciaj ĉambroj, kaj plasmo-rezistaj izoliloj.

Ĉefaj Trajtoj:

•Precizeco:±0,005mm toleremo por senjunta integriĝo en ASML-litografiajn ilojn aŭ Lam Research-gravurajn sistemojn.
•Materiala Versatileco:Optimumigita por 99.8% alumino-tero, altpureca SiC, kaj aliaj progresintaj ceramikaĵoj.
•Surfaca Finpoluro:Ra <0.2μm por minimumigi partiklan generadon en puraj ĉambroj de ISO-Klaso 1.

2.Proprieta Proceza Inĝenierarto

Niaj inĝenieroj disvolvisfermitcirklaj proceskontrolojkiuj adaptiĝas al la fragileco de ceramiko dum maŝinado. Kombinante sekajn frezadteknikojn kun realtempa vibrada dampigo, ni atingas senfendajn surfacojn kaj plilongigitajn vivdaŭrojn de komponantoj - eĉ sub ekstrema termika ciklado (ĝis 1 600 °C).

Novigado en Fokuso:

•Protokoloj por Malpezigo de Streso:Minimumigi mikro-rompojn en AlN-izolaĵoj por CVD-aplikoj.
•Post-Maŝinado Traktadoj:HIP (Varma Izostata Premado) plibonigas densecon kaj korodreziston.

3.Rigora Kvalitkontrolo

Ĉiu izolilo spertas12-ŝtupa inspektado, inkluzive de:

•CMM (Koordinata Mezurmaŝino)validigo de kritikaj dimensioj.
•Helium-lika testadopor vakua kongrueco.
•EDS (Energio-Dispersa Rentgen-Spektroskopio)por kontroli la purecon de la materialo.

NiaISO 9001/14001-atestita sistemocertigas spureblecon de la akiro de krudmaterialoj (fontita de provizantoj de la unua nivelo kiel CoorsTek) ĝis la fina pakado.

Aplikoj: Kie Precizeco Renkontas Efikecon

Niaj izoliloj estas fidindaj pri:

•Gravuraj kaj Depoziciaj Iloj:SiC-kovritaj komponantoj por plasmorezisto en Applied Materials™ moduloj.
•Jonaj Enplantantoj:Aluminaj levostiftoj kun antistatikaj tegaĵoj por malhelpi oblate-glitadon.
•Metrologiaj Sistemoj:Malalt-termikaj-vastiĝaj izoliloj por EUV-litografiaj scenejoj.

Kazesploro:Gvida duonkonduktaĵa originala ekipaĵoproduktanto (OEM) reduktis la malfunkcitempon de iloj je 40% post ŝanĝo al niaj speciale dizajnitaj SiC-duŝkapoj, kiuj superis la partojn de konkurantoj en 300mm-a prilaborado de oblatoj.

Preter Fabrikado: Partnereca Aliro

•Rapida Prototipado:Sendu viajn CAD-dosierojn kaj ricevu funkciajn prototipojn post 7 tagoj.
•Pakado en Pura Ĉambro surloke:Laŭvola klaso 10 puraĉambra asembleo por rekta ilintegriĝo.
•Dumviva Teknika Subteno:Niaj inĝenieroj provizas eluziĝanalizon kaj remaŝinadajn servojn por plilongigi la vivciklojn de komponantoj.